簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "林紀穎".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="謝宏麟"


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    平板彈簧式微定位平台之開發
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 鄭鼎緯 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究開發一套以平板彈簧結構為設計概念的微定位平台,用以進行精密定位。研究中藉由調整所設計的平板彈簧結構模組間的擺放方式及位置,即可建構出不同定位性能的平板彈簧式微定位平台,使定位平台具備不同維度的…
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    全域式晶圓翹曲量測技術
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 黃永光 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統,用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心,結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發,使系…
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